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产品信息

高性能产品 | 抛光载体等

Cocoon (抛光载体)

Cocoon (polishing carrier)

“Cocoon”的灵感来源于温柔的保护茧的形象,是一种用于铝硬盘、玻璃硬盘和硅晶圆等基板最终抛光的抛光载体。我们可以提出适合应用形式的载体,例如单一树脂载体或金属复合载体。

套环

Collar

传统上,旋转抛光载体的驱动部件中使用的套环采用金属或陶瓷,这会导致套环的磨损颗粒损坏产品等问题。 我们的颜色在防止产品污染和划痕方面非常出色,并且与 Cocoon 一样,它们适用于需要减少产品划痕的尖端应用的 HDD 和 Si-Wafer 的铝和玻璃基板的抛光工艺。

吸盘台/输送辊

Absorbent table吸盘台
Carriage roller输送辊

在液晶显示器、等离子显示器的制造工序中,因治具与玻璃基板接触而产生的静电,会造成颗粒附着、TFT电路损伤、因过多设置静电消除器而导致成本增加等各种问题。
因此,我们并不是消除已经产生的静电,而是以抑制静电的产生为目的,开发了玻璃基板用低剥离带电性能优异的材料。应用包括吸盘台、输送辊、吸盘垫等。此外,当需要导电性时,也可提供导电等级。