研磨キャリア・その他の製品

Cocoon(研磨キャリア)

Cocoon(研磨キャリア)

Cocoon(研磨キャリア)は、冨士ベークライトが独自に開発した材料でできた研磨キャリアの総称です。
「Cocoon」=「繭」(まゆ)を意味し、半導体容器向けに開発した材料の応用用途です。
硬質無機フィラーを含まない研磨用樹脂キャリアで、中のワークを「繭」のように優しく保護します。特に製品端面のマイクロスクラッチが問題となる、HDDのアルミ基板やガラス基板、先端用Si-Waferなどの最終研磨工程に適したキャリアです。

カラー

カラー

研磨キャリアを回転させる駆動部分で使用されるカラーは、従来、金属やセラミックス等が使用されており、カラーの摩耗による摩耗粉が製品を傷付けるといった問題がありました。

弊社カラーは、製品の低汚染性や傷付き防止に優れており、Cocoon同様、製品の傷低減が要求されるHDDのアルミ基板やガラス基板、先端用Si-Waferなどの研磨工程用カラーに適しています。

吸着テーブル・搬送ローラー

吸着テーブル・搬送ローラー

液晶ディスプレイやプラズマディスプレイの製造工程において、治具とガラス基板の接触による静電気の発生は、パーティクルの付着やTFT回路の破壊といった不具合、除電器の過剰設置によるコストUP等といった様々な問題を引き起こします。
そこで、弊社では、発生した静電気を除電するのではなく、静電気の発生を抑制することを目的に、ガラス基板に対して優れた低剥離帯電性能を持った材料を開発しました。 用途としては、吸着テーブル/搬送ローラー/吸着パッド等があります。
また、導電性の必要な場合は、導電性グレードも取り揃えています。