半導体容器　全ラインナップ（製品情報）

これからの半導体容器のスタンダード。*

半導体業界向け容器に不可欠な「低アウトガス、低溶出金属、低溶出イオン、帯電防止性能」。
当社はこの課題を満たすべく“独自材料の開発”を行い、e-mateX®という材料ブランドを創出しました。
業界のめまぐるしい技術革新に対応した材料と製品開発を行い、お客様から高く評価されています。

e-mateX®とは

e-mateX®は冨士ベークライトが半導体及び液晶用途向けに開発した、プラスチック材料の総称であり、商標登録されています。

Paragonとは

Paragonは半導体及び液晶関連で使用する容器の総称です。
「Paragon」は一般に“規範、逸品、逸材”と訳されます。
冨士ベークライトも半導体業界の規範となる製品の開発を目指しています。

e-mateX®　ラインナップ

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FB-0210シリーズ

特徴
e-mateXRFB-0210シリーズは、透明ABS材料と帯電防止材料とを特殊製法にてアロイ化させた持続性帯電防止透明材料です。
この材料は、優れた低アウトガス性、帯電防止性能を持ち、更にウェーハやマスク等への汚染物質を低減したグレードも取り揃えています。
また、着色による識別化も可能です。
用途
工程内保管ケース/ボックス、マスクケース、レチクルケース、SMIF PODシェル
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FB-0220シリーズ

特徴
e-mateX®FB-0220シリーズは、ABS材料と帯電防止材料とを特殊重合法にてアロイ化させた持続性帯電防止材料です。
この材料は、持続性帯電防止PPよりも剛性に優れ、低アウトガス性、帯電防止性能も兼ね備えています。 また、着色による識別化も可能です。
用途
工程内保管ケース/ボックス
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FB-0430シリーズ

特徴
e-mateX®FB-0430シリーズは、特殊環状オレフィン系材料と炭素繊維を配合させた帯電防止材料です。 この材料は、低アウトガス、低溶出イオン、耐摩耗、寸法安定、耐薬品、剛性等の全てに優れています。 既存PEEK材料に匹敵し得る性能を持った低コスト材料として開発しました。耐熱性が必要な場合は、耐熱仕様のグレードも取り揃えています。
用途
工程内キャリア、工程内保管ケース/ボックス、工程内各種治具
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FB-0530シリーズ

特徴
e-mateX®FB-0530シリーズは、純度の高いポリカーボネイト材料と炭素繊維を配合させた帯電防止材料です。
この材料は、耐摩耗性や高強度を必要とする部位に使用することができ、優れた帯電防止性能、低アウトガス性、剛性等を兼ね備えています。
用途
工程内保管ケース/ボックス、工程内各種治具

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Paragonキャリア ラインナップ

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Paragonケース　ラインナップ