6インチ
ParagonキャリアFB15A101は、前工程キャリアとして実績のあるe-mateX®FB-0430系材料を使用しており、後工程での薄ウエハ（Backgrinded
Wafer）用キャリアとして設計した13枚スロットキャリアです。
従来溝を切削加工により13枚にしたキャリアと異なり、金型による製品の安定した品質を提供いたします。
さらに薄ウエハのたわみを押さえるために櫛歯長さを15mmに延長しています。
| スロット | 13枚 |
|---|---|
| 外形寸法 | 全長（A1）155.48.0mm×フランジ外幅（A2）177.5mm×全高（A3）170.7mm |
| D1寸法 | 22.49mm |
| 溝ピッチ | 9.525mm |
| ハンドル | 有り・無し |
| 材料 | 標準材（FB-0431）・耐熱材（FB-0432） 2022年4月以降は、新グレードFB-0437材での製品出荷となります。 |
