製品情報

高機能製品|半導体容器

FB15A101

6インチ

帯電防止バイピッチキャリア〈FB15A101〉

特徴

ParagonキャリアFB15A101は、前工程キャリアとして実績のあるe-mateX®FB-0430系材料を使用しており、後工程Thin Wafer(Back-grinded Wafer)用キャリアとして設計した13枚スロットキャリアです。
従来溝を切削加工により13枚にしたキャリアと異なり、金型による製品の安定した品質を提供いたします。
さらにThin Waferのたわみを押さえるために櫛歯長さを15mmに延長しています。

仕様

スロット 13枚
外形寸法 全長(A1)155.48.0mm×フランジ外幅(A2)177.5mm×全高(A3)170.7mm
D1寸法 22.49mm
溝ピッチ 9.525mm
ハンドル 有り・無し
材料 標準材(FB-0431)・耐熱材(FB-0432)

図面ダウンロード(PDF)

ハンドルあり ハンドルなし

推奨ケース

  • Paragonケース:FB15C000