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製品情報

高機能製品|半導体容器

これからの半導体容器のスタンダード
Paragon

半導体・液晶向け自社ブランド「パラゴン」。
高純度材料で作る半導体ウエハキャリアは、アウトガスや含有金属によるウエハ汚染を低減します。さらに耐摩耗性と寸法安定性に優れ、パーティクルの発生やウエハのチッピングを抑制するため長期使用が可能です。


Paragonキャリア ラインナップ

Paragonは半導体及び液晶関連で使用する容器の総称です。「Paragon」は一般に“規範、逸品、逸材”と訳されます。
冨士ベークライトも半導体業界の規範となる製品の開発を目指しています。

Paragon

4インチ

帯電防止キャリア
FB10A100


5インチ

帯電防止キャリア
FB12A100


6インチ

帯電防止キャリア
FB15A100
FB15A102
FB15A104
FB15A105
帯電防止バイピッチキャリア
FB15A101


8インチ

帯電防止キャリア
FB20A100
FB20A102
FB20A103
FB20A104
FB20A105
FB20A107
FB20A109
帯電防止バイピッチキャリア
FB20A106

Paragonケース ラインナップ

Paragonケース

4インチ

帯電防止ケース
FB10C000


5インチ

帯電防止透明ケース
FB12C000
帯電防止ケース
FB12C001


6インチ

帯電防止透明ケース
FB15C001
バイピッチキャリア用帯電防止透明ケース
FB15C000


8インチ

帯電防止透明ケース
FB20C001・004
FB20C002
FB20C007