製品情報

高機能製品|半導体容器

FB20A106

8インチ

帯電防止バイピッチキャリア〈FB20A106〉

特徴

ParagonキャリアFB20A106は、前工程キャリアとして実績のあるe-mateX®FB-0430系材料を使用しており、後工程での薄ウエハ(Backgrinded Wafer)用キャリアとして設計した13枚スロットキャリアです。
従来溝を切削加工により13枚にしたキャリアと異なり、金型による製品の安定した品質を提供いたします。
さらに薄ウエハのたわみを押さえるために櫛歯長さを20.15mmに延長しています。

仕様

スロット 13枚
外形寸法 全長(A1)214.74mm×フランジ外幅(A2)240mm×全高(A3)219.06mm
D1寸法 34.93mm
溝ピッチ 12.7mm
ハンドル 有り(識別用マーカー取り付け穴付き)・無し
材料 標準材(FB-0431)・耐熱材(FB-0432)

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ハンドルあり ハンドルなし

推奨ケース

  • Paragonケース:FB20C000、FB20C002、FB20C004、FB 20C006