8インチ
ParagonキャリアFB20A106は、前工程キャリアとして実績のあるe-mateX®FB-0430系材料を使用しており、後工程での薄ウエハ(Backgrinded
Wafer)用キャリアとして設計した13枚スロットキャリアです。
従来溝を切削加工により13枚にしたキャリアと異なり、金型による製品の安定した品質を提供いたします。
さらに薄ウエハのたわみを押さえるために櫛歯長さを20.15mmに延長しています。
| スロット | 13枚 |
|---|---|
| 外形寸法 | 全長(A1)214.74mm×フランジ外幅(A2)240mm×全高(A3)219.06mm |
| D1寸法 | 34.93mm |
| 溝ピッチ | 12.7mm |
| ハンドル | 有り(識別用マーカー取り付け穴付き)・無し |
| 材料 | 標準材(FB-0431)・耐熱材(FB-0432) 2022年4月以降は、新グレードFB-0437材での製品出荷となります。 |



